Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций
Конференция: Современные проблемы радиоэлектроники; Красноярск; Красноярск
Год издания: 2017
Аннотация: Описывается технологический маршрут изготовления тонкопленочных металл-диэлектрик-металл конденсаторов, предназначенных для поверхностного монтажа на гибридные схемы. Конденсаторы изготовлены на основе Si3N4 осажденного методом плазменно-химического осаждения из газовой фазы на медной подложке.
Издание
Журнал: Современные проблемы радиоэлектроники
Номера страниц: 508-511
Издатель: Сибирский федеральный университет
Персоны
- Зеленов Ф.В. (Научно-производственное предприятие «Радиосвязь»)
- Масюгин Альберт Николаевич (Научно-производственное предприятие «Радиосвязь»)
- Иванов А.Б. (Научно-производственное предприятие «Радиосвязь»)
- Коновалов С.О. (Научно-производственное предприятие «Радиосвязь»)
- Тютюнник М.О. (Сибирский федеральный университет)
- Барон Ф.А. (Научно-производственное предприятие «Радиосвязь»)
Вхождение в базы данных
Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.