Сибирский федеральный университет

Перевод названия: Formation of porous structures on silicon with ferroelectric intended for components of microelectronics and capacitance type microsystem devices

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2017

Ключевые слова: пористые структуры на кремнии, электрохимическая обработка, сегнетоэлектрик, экстракционно-пиролитический метод, гетероструктуры на пористом кремнии с титанатом бария, porous silicon structure, electrochemical treatment, ferroelectric, extraction-pyrolytic method, heterostructure, porous silicon, barium titanate

Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований процесса формирования гетероструктур на основе пористого кремния с титанатом бария для элементов электроники и микросистемной техники емкостного типа. Изучена зависимость емкости и диэлектрической проницаемости от размерности пористой матрицы, количества наносимых слоев титаната бария, материала обкладок конденсаторной структуры. Experimental study results of the formation process of heterostructures based on porous silicon with barium titanate and intended for components of microelectronics and capacitance type microsystem devices are presented. The dependences of capacitance and the dielectric constant on a porous matrix size, a number of deposited barium titanate layers, a capacitor plate material were studied.

Журнал: Химическая технология

Выпуск журнала: № 10

Номера страниц: 443-449

ISSN журнала: 16845811

Место издания: Москва

Издатель: Общество с ограниченной ответственностью "Наука и технологии"

• Семенова О.В. (Сибирский федеральный университет)
• Раилко М.Ю. (Сибирский федеральный университет)
• Патрушева Т.Н. (Сибирский федеральный университет)
• Меркушев Ф.Ф. (Сибирский федеральный университет)
• Подорожняк С.А. (Сибирский федеральный университет)
• Юзова В.А. (Сибирский федеральный университет)
• Корец А.Я. (Сибирский федеральный университет)
• Холькин А.И. (Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН)

• Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)
• Список ВАК