Сибирский федеральный университет

Перевод названия: Разработка и применение компонентов МЭМС

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2015

Ключевые слова: microelectromechanical systems (MEMS), microelectromechanical resonators, SCREAM technology, Microgyroscopes, inertial navigation, pedestrian navigation, микроэлектромеханические системы (МЭМС), микроэлектромеханические резонаторы, пешеходная навигация, SCREAM-технология, микрогироскопы, навигация

Аннотация: This article provides the results of the MEMS (MicroElectroMechanical Systems) components studies. The design considerations and manufacturing techniques of the silicon-based MEMS components are considered. Results of the experimental characterization of the fabricated prototypes are provided. Furthermore, discussion related to the future development of the MEMS components is also presented. Представлены результаты исследований, связанных с созданием компонентов микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассмотрены конструктивные варианты и технологии изготовления компонентов МЭМС на базе кремниевых микроструктур. Обсуждаются результаты исследований экспериментальных образцов. Рассмотрены пути дальнейшего развития исследований по созданию перспективных компонентов МЭМС.

Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии

Выпуск журнала: Т. 8, № 3

Номера страниц: 290-296

ISSN журнала: 1999494X

Место издания: Красноярск

Издатель: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Сибирский федеральный университет

• Levitskiy Alexey A. (Siberian Federal University)
• Marinushkin Pavel S. (Siberian Federal University)

• Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)
• Список ВАК