Development and Applications of MEMS Components

Перевод названия: Разработка и применение компонентов МЭМС

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2015

Ключевые слова: microelectromechanical systems (MEMS), microelectromechanical resonators, SCREAM technology, Microgyroscopes, inertial navigation, pedestrian navigation, микроэлектромеханические системы (МЭМС), микроэлектромеханические резонаторы, пешеходная навигация, SCREAM-технология, микрогироскопы, навигация

Аннотация: This article provides the results of the MEMS (MicroElectroMechanical Systems) components studies. The design considerations and manufacturing techniques of the silicon-based MEMS components are considered. Results of the experimental characterization of the fabricated prototypes are provided. Furthermore, discussion related to the future development of the MEMS components is also presented.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии

Выпуск журнала: Т.8, 3

Номера страниц: 290-296

ISSN журнала: 1999494X

Место издания: Красноярск

Издатель: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Сибирский федеральный университет

Авторы

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.