Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2011
Аннотация: Кратко описан оригинальный управляемый СВЧ-модуль для бесконтактного измерения параметров полупроводников. Модуль позволяет в автоматическом режиме контролировать изменение частоты, амплитуды, добротности и формы резонансной кривой СВЧ-резонатора при нагружении его на измеряемый полупроводник. Приведены результаты применения СВЧ-модуля для измерений времени жизни неравновесных носителей заряда в пластинах монокристаллического и мультикристаллического кремния.
Издание
Журнал: Микроэлектроника
Выпуск журнала: Т. 40, № 4
Номера страниц: 313-318
ISSN журнала: 05441269
Место издания: Москва
Издатель: Российская академия наук, Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН
Персоны
- Владимиров В.М. (Красноярский научный центр СО РАН)
- Коннов В.Г. (Красноярский научный центр СО РАН)
- Марков В.В. (Красноярский научный центр СО РАН)
- Репин Н.С. (Красноярский научный центр СО РАН)
- Шепов В.Н. (Красноярский научный центр СО РАН)
Вхождение в базы данных
- Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)
- Список ВАК
Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.