Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2013
Аннотация: Пленки кубической фазы In2O3 получены автоволновой реакцией окисления. Электронно-микроскопические исследования и фотоэлектронная спектроскопия профилей распределения показали, что образцы однородны по всей площади и толщине, характерный размер зерна 20--40 нм. Проведены исследования оптических и электрических свойств пленок In2O3, полученных при различном давлении в вакуумной камере. В диапазоне длины волн 400--1100 нм пленки имели прозрачность более 85% и удельное сопротивление 1.8· 10-2 Ом·см.
Издание
Журнал: Физика и техника полупроводников
Выпуск журнала: Т. 47, № 4
Номера страниц: 546-550
ISSN журнала: 00153222
Место издания: Санкт-Петербург
Издатель: Федеральное государственное унитарное предприятие Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Наука
Персоны
- Тамбасов И.А. (Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" им. акад. М.Ф. Решетнева, 662972 Железногорск, Россия)
- Балашов С.В. (Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" им. акад. М.Ф. Решетнева, 662972 Железногорск, Россия)
- Карпенко Д.С. (Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" им. акад. М.Ф. Решетнева, 662972 Железногорск, Россия)
- Мягков В.Г. (Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, 660036 Красноярск, Россия)
- Иваненко А.А. (Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, 660036 Красноярск, Россия)
- Немцев И.В. (Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, 660036 Красноярск, Россия)
- Быкова Л.Е. (Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, 660036 Красноярск, Россия)
- Бондаренко Г.Н. (Институт химии и химической технологии Сибирского отделения Российской академии наук, 660049 Красноярск, Россия)
- Михлин Ю.Л. (Институт химии и химической технологии Сибирского отделения Российской академии наук, 660049 Красноярск, Россия)
- Максимов И.А. (Институт химии и химической технологии Сибирского отделения Российской академии наук, 660049 Красноярск, Россия)
- Иванов В.В. (Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" им. акад. М.Ф. Решетнева, 662972 Железногорск, Россия)
Вхождение в базы данных
- Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)
- Список ВАК
Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.