Структурные и оптические свойства тонких пленок In2O3, полученных автоволновым окислением

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2013

Аннотация: Пленки кубической фазы In2O3 получены автоволновой реакцией окисления. Электронно-микроскопические исследования и фотоэлектронная спектроскопия профилей распределения показали, что образцы однородны по всей площади и толщине, характерный размер зерна 20--40 нм. Проведены исследования оптических и электрических свойств пленок In2O3, полученных при различном давлении в вакуумной камере. В диапазоне длины волн 400--1100 нм пленки имели прозрачность более 85% и удельное сопротивление 1.8· 10-2 Ом·см.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Физика и техника полупроводников

Выпуск журнала: Т.47, 4

Номера страниц: 546-550

ISSN журнала: 00153222

Место издания: Санкт-Петербург

Издатель: Федеральное государственное унитарное предприятие Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Наука

Авторы

  • Тамбасов И.А. (Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" им. акад. М.Ф. Решетнева, 662972 Железногорск, Россия)
  • Балашов С.В. (Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" им. акад. М.Ф. Решетнева, 662972 Железногорск, Россия)
  • Карпенко Д.С. (Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" им. акад. М.Ф. Решетнева, 662972 Железногорск, Россия)
  • Мягков В.Г. (Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, 660036 Красноярск, Россия)
  • Иваненко А.А. (Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, 660036 Красноярск, Россия)
  • Немцев И.В. (Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, 660036 Красноярск, Россия)
  • Быкова Л.Е. (Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, 660036 Красноярск, Россия)
  • Бондаренко Г.Н. (Институт химии и химической технологии Сибирского отделения Российской академии наук, 660049 Красноярск, Россия)
  • Михлин Ю.Л. (Институт химии и химической технологии Сибирского отделения Российской академии наук, 660049 Красноярск, Россия)
  • Максимов И.А. (Институт химии и химической технологии Сибирского отделения Российской академии наук, 660049 Красноярск, Россия)
  • Иванов В.В. (Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" им. акад. М.Ф. Решетнева, 662972 Железногорск, Россия)

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.