Метрологические аспекты исследования поверхностей

Издание

Журнал: Микроэлектронные устройства. Проектирование и технология

Номера страниц: 32-40

Место издания: Красноярск

Издатель: Красноярский государственный политехнический институт

Авторы

  • Коловский Юрий Васильевич (Сибирский федеральный университет)
  • Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Красноярский политехнический институт

Вхождение в базы данных

Информация о публикациях загружается с сайта службы поддержки публикационной активности СФУ. Сообщите, если заметили неточности.

Вы можете отметить интересные фрагменты текста, которые будут доступны по уникальной ссылке в адресной строке браузера.